HPHT 单晶衬底与基片
典型用途
- 同质外延 CVD 籽晶衬底
- 光学与光谱测试基片
- X 射线与中子光学
- 掺杂水平确定的研究基片
- 工具与压头毛坯
S 系列基片切自以温度梯度法生长的 HPHT 单晶,并经筛选以获得大面积、无缺陷的工作面。由于晶体以立方八面体生长,我们可以从同一材料上切出 (100)、(110)、(111) 和 (113) 晶面的基片,并逐片测量和报告偏离角。
IIa 型材料氮含量低于 1 ppm,具备光学与光谱工作所要求的低双折射和低背景荧光。IIb 型材料在生长过程中掺入最高 10 ppm 的硼,成为 p 型半导体,用于电极、器件研究和抗辐照电子学。掺杂水平与电阻率按批次指定。
2.5 × 2.5 mm 至 10 × 10 mm、厚 0.5 mm、(100) 晶向的基片常备库存。最大 15 × 15 mm 的规格、其他厚度、其他晶面及多扇区基片按订单切割。
- 材料
- HPHT 单晶,IIa 或 IIb 型(掺硼)
- 氮含量,IIa 型
- < 1 ppm
- 可选掺杂
- 硼,最高 10 ppm(IIb 型)
- 库存规格
- 2.5 × 2.5 → 10 × 10 mm · 0.5 mm · (100)
- 定制规格
- 最大 15 × 15 mm
- 厚度
- 0.25 – 1.5 mm · 其他厚度可定制
- 晶向
- (100) · (110) · (111) · (113)
- 表面处理
- 单面或双面抛光,Ra ≤ 5 nm
- 双折射
- 低,可按需提供正交偏光图像